纳米技术的基本工艺 212年(ESC)

本课程概述了“自顶向下”中涉及的广泛的处理方法。, “自下而上”, 以及混合纳米制造. 大部分课程详细介绍了设备的逐步描述, 设备、工艺和工艺流程在今天的设备和结构制造中使用. 学生们学会理解包括安全在内的加工和制造问题, 过程控制, 污染, 收益率, 处理相互作用. 学生设计微纳米级系统的工艺流程. 学生通过动手操作,了解“自上而下”和“自下而上”设备和工艺流程的异同. 这动手概述曝光涵盖基本的纳米加工过程,包括沉积, 蚀刻, 模式转移. 本课程是六门顶点课程(Esc 211、212、213)之一. 214,215,216)为宾夕法尼亚州立大学半导体制造技术(SMT)计划. 该课程是实验室密集型的,利用大学公园校园的纳米制造设施. 所有的课程都将在Lubert大楼114号的技术教室进行.、研究园. 这个教室是专用于半导体制造技术中心的,因此有各种各样的非常专业的, “动手”的材料和设施不断提供给学生. 课程成绩评估将采用混合测试, 演讲, 报告, 以及项目分配. 强调团队合作和解决团队问题的能力.

先决条件

在此之前必须学习以下课程 课程
纳米制造的材料、安全和设备概述

部分

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